特許

J-GLOBAL ID：200903097955929259

加速度センサ

発明者： 中邑 卓郎
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-164200
公開番号（公開出願番号）：特開平10-010150
出願日： 1996年06月25日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】 1軸方向だけでなく、互いに直交する3軸方向における加速度を検知できる加速度センサを提供する。【解決手段】 固定電極1と、両端部が固定されて所定間隔を設け空気を介して固定電極1に対面した可動電極2と、可動電極2に固着されて電荷を保持した電荷保持面31が固定電極1に対面するエレクトレット膜3と、加速度印加時に可動電極2に変位を与えるよう固定電極1の反対側に設けられた重り4と、を備え、固定電極1と可動電極2との間の静電容量変化を測定して加速度を検知する加速度センサであって、前記電荷保持面31が対面する固定電極1は、前記重り4の重心の投影位置を交点として互いに直交する直交軸に沿って分割された構成にしてある。

請求項（抜粋）：

固定電極と、両端部が固定されて所定間隔を設け空気を介して固定電極に対面した可動電極と、固定電極又は可動電極のいずれか一方の電極に固着されて電荷を保持した電荷保持面が他方の電極に対面したエレクトレット膜と、加速度印加時に可動電極に変位を与えるよう固定電極の反対側に設けられた重りとを備え、固定電極と可動電極との間の静電容量変化を測定して加速度を検知する加速度センサであって、前記電荷保持面が対面する他方の電極は、前記重りの重心の投影位置を交点として互いに直交する直交軸に沿って分割されてなることを特徴とする加速度センサ。