半導体デバイス自動検査装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松山圭佑 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-206553
公開番号（公開出願番号）：特開2003-021664
出願日： 2001年07月06日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：

【要約】【課題】ケーブルが接続された半導体デバイスを高精度で効率良く検査することができる半導体デバイス自動検査装置を提供する。【解決手段】半導体デバイス18を保持するトレイ20と、該トレイ20を検査エリア22に、半導体デバイス18を保持した状態で順次搬送する搬送装置24と、前記トレイ20に保持状態のコネクタ16に自動結合される検査用コネクタ26と、プローブ28と、前記トレイ20を該プローブ28に向けて移送することによりデバイス本体14の端子14A及び前記プローブ28の端子28Aを相互に接近させる移送装置30と、前記検査用コネクタ26から入力信号を入力して前記プローブ28から出力信号を得ることにより前記半導体デバイス18を検査する検査器32と、を含んで半導体デバイス自動検査装置10を構成した。

請求項（抜粋）：

ケーブル、その一端に接続されたデバイス本体、及び前記ケーブルの他端に接続されたコネクタを有する半導体デバイスを保持するとともに、保持状態で前記コネクタが相手コネクタに直接的又は間接的に結合可能とされ、且つ、前記デバイス本体の端子が外部端子に当接又は近接可能とされたトレイと、前記トレイを検査エリアに、前記半導体デバイスを保持した状態で順次搬送する搬送装置と、前記検査エリアに配置され、前記トレイに保持状態の前記コネクタに自動結合される検査用コネクタと、前記検査エリアに配置され、前記トレイに保持状態の前記デバイス本体の端子に当接又は近接して前記デバイス本体に信号を入出力可能である端子を備えたプローブと、前記検査エリアにおいて前記プローブ及び前記トレイの少なくとも一方を他方に向けて移送することにより前記トレイに保持状態の前記デバイス本体の端子及び前記プローブの端子を相互に接近させる移送装置と、前記検査用コネクタ及び前記プローブの一方から入力信号を入力して他方から出力信号を得ることにより前記半導体デバイスを検査する検査器と、を含んでなることを特徴とする半導体デバイス自動検査装置。

IPC (3件)：

G01R 31/26 , G01R 1/06 , G01R 31/28

FI (4件)：

G01R 31/26 Z , G01R 31/26 J , G01R 1/06 E , G01R 31/28 H

Fターム (21件)：

2G003AA00 , 2G003AD09 , 2G003AG03 , 2G003AG08 , 2G003AG10 , 2G003AG11 , 2G003AG12 , 2G003AG20 , 2G003AH04 , 2G003AH07 , 2G011AA15 , 2G011AC14 , 2G011AE02 , 2G011AF07 , 2G132AA00 , 2G132AE01 , 2G132AE02 , 2G132AJ00 , 2G132AL03 , 2G132AL09 , 2G132AL11

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