特許

J-GLOBAL ID：200903097965833179

同時多重アンチヒューズプログラミング方法

発明者： ダグラス・シー・ガルブレイス
出願人/特許権者： アクテル・コーポレイシヨン
代理人 (1件)： 川口 義雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-130934
公開番号（公開出願番号）：特開平8-008726
出願日： 1994年05月20日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 多大なプログラミング時間が節約される、複数のアンチヒューズを同時にプログラミングするための方法を提供する。【構成】 共通ノード及び絶縁ノードを、全てのアンチヒューズへの応力を最小限にするように選択された中間電圧電位に予帯電する段階と、選択されたアンチヒューズの絶縁ノードを第1のプログラミング電圧電位に予帯電し、共通ノードを第2のプログラミング電圧にした後、所定の時間待機する段階と、共通ノードと絶縁ノードとの間を流れる電流を測定する段階とを含んでいる。測定した電流が、所望のアンチヒューズがプログラミングされなかったことを示した場合、上記プログラミングプロセスが予め選択された回数実行される。選択されたアンチヒューズは、プログラミングされた後にソーク電流を流すことによって個別にソーキングされる。

請求項（抜粋）：

共通導線と複数の個別に交差する導線との交点に配置された複数のアンチヒューズのプログラミング方法であって、プログラミングすべきでないアンチヒューズと個別に交差する導線の各々を、プログラミング電位差のほぼ半分に等しい電圧レベルに動的に予帯電する段階と、プログラミングすべきアンチヒューズと個別に交差する導線の各々を、前記プログラミング電位差の第1の電位に動的に予帯電する段階と、機能アンチヒューズを適切にプログラミングするのに十分であるように選択された時間中、前記共通導線を前記プログラミング電位差の第2の電位にする段階とを含むプログラミング方法。

IPC (3件)：

H03K 19/177 ,  G11C 17/14 ,  H01L 21/82

FI (2件)：

G11C 17/06 301 ,  H01L 21/82 A