特許

J-GLOBAL ID：200903097966105495

加速度センサの他軸干渉出力の補正方法

発明者： 寅屋敷 治
出願人/特許権者： 住友精密工業株式会社
代理人 (1件)： 押田 良久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-196012
公開番号（公開出願番号）：特開平9-021825
出願日： 1995年07月07日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：

【要約】【課題】 加速度に対するX,Y,Z軸間の干渉のない出力が得られる3軸加速度センサを実現する静電容量型加速度センサの他軸干渉出力の補正方法。【解決手段】 静電容量素子C1〜C5の電気信号を各々CV変換して電圧Vを得るに際し、X軸出力はV1とV3の差をとることにより、Z軸出力はV5により得られ、加速度0(初期状態)でC1≠C3の場合など、V1-V3には、Z軸出力V5に応じた他軸干渉出力が現れるが、V1-V3と適当に調整したZ軸出力k・V5の差をとることによりZ軸に応じた他軸干渉出力をキャンセルできる。

請求項（抜粋）：

固定基板と可撓基板との各対向面に電極を着設して対向配置される静電容量素子を複数対設け、該基板面に平行なXY平面を設定してこれと直交するZ軸のX,Y,Z軸3次元方向の加速度の変化を、複数対の静電容量素子間の静電容量変化に基づき各X,Y,Z軸方向成分の検出を行う静電容量型加速度センサにおいて、各容量素子の電気信号を軸方向で対になる素子間の差分演算して各X,Y軸方向成分の検出を行うに際し、得られた各軸出力よりZ軸方向出力に応じた他軸干渉成分を加減する静電容量型加速度センサの他軸干渉出力の補正方法。

IPC (3件)：

G01P 15/125 ,  G01P 15/09 ,  G01P 21/00

FI (3件)：

G01P 15/125 ,  G01P 15/09 ,  G01P 21/00