画像計測光学系

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-243478
公開番号（公開出願番号）：特開平9-250905
出願日： 1996年09月13日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】【課題】傾いた物体面に照明光が入射する場合でかつ単一の照明系のみを用いた場合であっても、その物体面での反射光のうち,結像に寄与する光束の検出可能条件を最適化できる。【解決手段】被測定物の形状を画像認識する画像計測装置にて光学画像を形成する画像計測光学系において、被測定物からの光を照明光路と結像光路とを分岐する光分岐手段と、被測定物と光分岐手段との間に設けられた少なくとも1つのレンズからなるレンズ手段と、結像光路上に存在する前記レンズ手段の後側焦点面近傍に、設けられた絞りと、光分岐手段により分岐された照明光路上に存在するレンズ手段の後側焦点面近傍に、光源もしくは光源像を配置してなる光源手段とを備えた画像計測光学系。

請求項（抜粋）：

被測定物の形状を画像認識する画像計測装置の画像計測光学系において、前記被測定物からの光を照明光路と結像光路とに分岐する光分岐手段と、前記被測定物と前記光分岐手段との間に設けられた少なくとも1つのレンズからなるレンズ手段と、前記結像光路上に存在する前記レンズ手段の後側焦点面近傍に、設けられた絞りと、前記光分岐手段により分岐された前記照明光路上に存在する前記後側焦点面の共役位置近傍に、光源もしくは光源像を配置してなる光源手段とを備えたことを特徴とする画像計測光学系。

IPC (3件)：

G01B 11/00 , G06T 7/00 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01B 11/00 C , H01L 21/66 J , G06F 15/62 405 C

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