特許

J-GLOBAL ID：200903097985837286

静電チャック及びその製造方法

発明者： ジヨセフ・スキナー・ローガン ,  レイモンド・ロバート・ルケル ,  ロバート・エリ・トンプキンス ,  ロバート・ピーター・ウエスターフイールド・ジユニア
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 頓宮 孝一 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-162412
公開番号（公開出願番号）：特開平6-342843
出願日： 1991年06月07日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：

【要約】【目的】2個の部分に分割された電極を有する静電チャックを提供する。【構成】分離した2個の部分12、14はテーパ継手部を介して接合され、エポキシを使用して接着される。絶縁材が2個の部分を電気的に分離し、又、接合された部分の頂部を覆ってクランプ表面を形成している。電極は、3個の環状領域を形成して、クランプ表面を2個の対称に位置する均等な範囲に分割した幾何学構造となっている。更に、上述の分割リング型静電チャック10を製造する場合、2個の分離した電極を形成し、分離電極を絶縁材で被覆し、両電極を接合し、電極の接合頂部表面に機械加工を施して単一かつ同一平面状態の平坦かつ平滑な表面を形成し、絶縁材をその頂部表面に塗布する。

請求項（抜粋）：

隆起した中央ハブと、隆起した外側リムとを有する概ねディスク状の第1電極を設け:中央開口と外側縁部とを形成する概ね円形の壁部を備えたドーナツ形の第2電極を設け、上記第1電極の上記ハブが上記第2電極の上記中央開口に係合し、上記第1電極の上記リムが上記第2電極の上記外側縁部を囲み;上記第1電極を上記第2電極から電気的に分離するとともに、上記第1電極と上記第2電極との頂部を覆ってクランプ表面を形成する絶縁材を設け;上記第1電極に接続する第1の電気接点を設け;上記第2電極に接続する第2の電気接点を設け、上記第1電極と上記第2電極との間に電圧を及ぼして、ウエハーを上記クランプ表面にクランプするための引き付け力を発生させるようにしたことを特徴とする分割リング型静電チャック。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15