特許
J-GLOBAL ID：200903097995501758
インクジェット記録ヘッド及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-118558
公開番号（公開出願番号）：特開平6-328688
出願日： 1993年05月20日
公開日（公表日）： 1994年11月29日
要約：
【要約】【構成】 インクジェット記録装置に用いるインクジェット記録ヘッドにおいて、インク滴が吐出するノズルプレート2の表面に緻密なジルコニア薄膜21が形成され、更にその上に含フッ素シリコンカップリング剤からなる層22が形成されていることを特徴とする。ノズル表面に有機ジルコニウム化合物を加水分解したゾルを塗布し、加熱してジルコニア薄膜とし、含フッ素シリコンカップリング剤をジルコニアの水酸基と結合させることで形成する。【効果】 インクジェット記録ヘッドのノズルプレート表面に高い撥インク性を示す撥インク処理が施せ、インク滴の吐出において、安定した直進性が維持できた。この結果、高い印字品質のインクジェット記録ヘッドを提供でき、また、ノズルプレート表面の撥インク処理の持続性が非常に優れているために、記録ヘッドの長寿命化が可能となった。
請求項（抜粋）：
インク滴を吐出するノズル開口を有するノズルプレート表面上にジルコニア薄膜が形成され、前記ジルコニア薄膜の上に含フッ素シリコン膜が形成されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/135
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 N
