特許
J-GLOBAL ID:200903098000571640

半導体試験用デ-タ処理装置及び方法並びに半導体試験装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊東 忠彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-098133
公開番号(公開出願番号):特開2000-009810
出願日: 1999年04月05日
公開日(公表日): 2000年01月14日
要約:
【要約】【課題】 半導体装置のテスト時に正確なテストデータの生成及びシュミレーションデータとテストデータとの相互間の変換が容易に可能であり、シュミレーションデータ精度と半導体装置用テスタ精度との検証,不確定イベント及びI/Oデットバンドの検証を行なうことが可能となる半導体試験用データ処理装置及び方法並びに半導体試験装置を提供することを目的とする。【解決手段】 半導体のシュミレーションデータを取り込むイベント情報バッファ14と、取り込むデータ部分を指定するサイクルカウンタ16と、取り込んだデータから変化の状態と変化の時間とを取り込み記憶するタイミング情報バッファ15と、取り込んだデータによりテスタ19に供給できるテストデータを作成するテストデータバッファ17とを有することにより前記課題を解決することが可能となる。
請求項(抜粋):
半導体装置を試験するためのテストデータを処理する半導体試験用データ処理装置において、前記半導体装置の動作をシュミレートする時間軸に対応したシュミレーションデータが供給され、前記シュミレーションデータの変化に基づきイベント軸に対応した前記テストデータを加工することを特徴とした半導体試験用データ処理装置。
IPC (2件):
G01R 31/28 ,  G01R 31/3183
FI (2件):
G01R 31/28 F ,  G01R 31/28 Q
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開平4-296678

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