特許
J-GLOBAL ID：200903098001081689
クリーンルームの環境評価システム
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 雅紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-238404
公開番号（公開出願番号）：特開平11-201531
出願日： 1998年08月25日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：
【要約】【課題】 クリーンルームの環境条件を無線に送受信して環境評価を行うことができるクリーンルームの環境評価システムを提供する。【解決手段】 クリーンルームの特定の位置に設置され、クリーンルームの環境条件を測定する複数個の測定機器10、測定機器10に連結され測定資料を信号変換し無線に転送する送信機12、クリーンルーム内に設置され送信機12から転送される無線信号を受信し信号変換する受信機14、および受信機14に連結され測定資料を分析して所定の値と比較評価するホストコンピュータ16を備えている。したがって、測定機器の位置が自在な状態で持続的な環境評価が行うことができ、無線を通じて測定資料を送出して環境評価が行われるので施設費用が減少し、クリーンルームの環境を維持し生産効率を高めることができる。
請求項（抜粋）：
クリーンルームの特定の位置に設置され、クリーンルームの環境条件を測定する複数個の測定手段と、前記測定手段に連結され、測定資料を信号変換し無線で転送する複数個の送信部と、前記クリーンルーム内に設置され、前記送信部から転送される無線信号を受信し信号変換する受信部と、前記受信部に連結され、前記測定資料を分析しあらかじめ設定された所定の範囲の値と比較評価するホストコンピュータと、を備えることを特徴とするクリーンルームの環境評価システム。
IPC (2件)：
F24F 11/02 103
, F24F 7/06
F24F 11/02 103 A
, F24F 7/06 C
