原子間力顕微鏡内の交流検出用力センサを磁気変調させる方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：社本一夫 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-527659
公開番号（公開出願番号）：特表平10-511467
出願日： 1996年02月29日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：

【要約】走査型力顕微鏡において、磁気材料の薄いフィルム46が、力感知片持ちばり48の裏面に適用される。小さなソレノイド62が片持ちばり48の近くに位置付けられ、片持ちばり48の柔軟な軸に垂直な場Bを発生させる。場Bは、交流電圧源66によって発生され、片持ちばり48に作用されるべき、時間とともに変化する力を生じさせる。片持ちばりの位置に対応する変調が、位置感応型検出器60内に反射するレーザビーム58によって感知される。この信号の大きさおよび位相は、相互相関器68によって決定される。試料表面52の像は、一定の力勾配のもとで、表面52を片持ちばり48で走査することにより作られる。このとき、プローブ64と試料54との間の隙間を調節し、相互相関器68からの出力が一定を維持するようにする。

請求項（抜粋）：

走査した試料の表面の特徴に対応する信号を発生させる走査型プローブ顕微鏡にして、可撓性の片持ちばりの自由端の第一の側部に配置された力検出プローブの先端であって、試料表面に近接する位置まで移動し得るようにされた前記力検出プローブの先端と、前記可撓性の片持ちばりの前記第一の側部に対向する第二の側部に配置された磁化材料を有する膜と、前記力検出プローブの先端と前記試料表面との間にて相対的な走査動作を生じさせるXYスキャナと、前記力検出プローブの先端と前記試料表面との間の距離を調節するZ制御装置と、前記可撓性の片持ちばりのたわみを表示するたわみ信号を発生させるたわみ検出器と、交流信号発生源と、前記可撓性の片持ちばりの前記第二の側部に向けて方向決めされた磁界を発生させる磁界発生器であって、前記磁界を前記交流信号により変調させるように前記交流信号発生源に結合された前記磁界発生器と、基準入力として前記交流信号を有し、信号入力として前記たわみ信号を有する相互相関器であって、その出力が走査した前記試料の表面の前記特徴に対応する前記相互相関器とを備える、走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 37/00 , G01B 5/28 102 , G01B 21/30

FI (4件)：

G01N 37/00 F , G01B 5/28 102 Z , G01B 21/30 Z , G01N 37/00 G

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