特許
J-GLOBAL ID:200903098021524862
光学素子及びその製造方法ならびにドットマトリクス表示装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中野 雅房
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-078689
公開番号(公開出願番号):特開平6-265702
出願日: 1993年03月12日
公開日(公表日): 1994年09月22日
要約:
【要約】【目的】 液晶表示パネルに最適な信頼性のあるマイクロレンズアレイの量産方法を提供する。【構成】 原盤となるマイクロレンズアレイ1にスパッタリング等により銀薄膜2を形成し、電鋳法によりスタンパ台3を作製する〔図1(a)〕。この上にNi等のブロック材4をスタンパ台3に固定し〔図1(b)〕、さらに電鋳法によりスタンパ盤5を作製し〔図1(c)〕、銀薄膜2より剥離する〔図1(d)〕。次に、マイクロレンズアレイ1のレンズ面の凹凸反転形状が転写された面にタングステンの強度補強膜6を形成し、スタンパ7を得る〔図1(e)〕。このスタンパ7を加圧成形機14の上型15の部分型として装着固定し、ガラス基板12上に成形用ガラス材10が板状に張り合わされたガラス材料8を用いて〔図2(a)〕、高温化で加圧成形し、マイクロレンズアレイ11(複製品)を得る〔図2(b)〕。
請求項(抜粋):
基板上に2次元的にレンズが複数個配列されたマイクロレンズアレイを原盤とし、前記マイクロレンズアレイのレンズを形成されている面にスタンパ材料を堆積し、原盤を除去することにより前記レンズを形成された面の凹凸反転形状を転写させてスタンパを作製したのち、前記スタンパを型として、成形用ガラス材を用いてマイクロレンズアレイを加圧成形することを特徴とする光学素子の製造方法。
IPC (2件):
G02B 3/00
, G02F 1/1335 530
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