特許
J-GLOBAL ID：200903098022425175
漏れ検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大川 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-043638
公開番号（公開出願番号）：特開平5-240729
出願日： 1992年02月28日
公開日（公表日）： 1993年09月17日
要約：
【要約】【目的】感度校正などに用いるマスターリークの汚損を防止するとともにその取扱いにおける作業者の負担軽減が可能な漏れ検査装置を提供する。【構成】この漏れ検査装置の感度校正及び装置良否チェックのためのマスターリーク漏れ量の測定は、真空室排気ポンプ12、13により真空室1を所定の真空圧まで掃引した後、トレースガス供給源7からマスターリークにより真空室1へトレースガスを定流量で所定時間リークさせ、ガスセンサ(質量分析計)5により真空室1のトレースガス濃度を測定することによりなされる。【効果】トレースガスを定期的に定流量でリークさせるマスターリーク2をトレースガス供給源と真空室との間に設けているので、マスターリークの汚損を防止するとともにその取扱いにおける作業者の負担の格段の軽減が可能になる。
請求項（抜粋）：
内部に所定圧力のトレースガスが注入される中空被試験品を収容する真空室と、該各真空室を所定の真空圧まで掃引する真空室排気ポンプと、前記各真空室中のトレースガスを順次検出するガスセンサとを備える漏れ検査装置において、トレースガス供給源と前記各真空室とを配管及びバルブを通じて連結するとともに、前記トレースガス供給源から供給されるトレースガスを前記真空室へ定期的に所定の漏れ流量でリークさせるマスターリークを備えることを特徴とする漏れ検査装置。
引用特許：
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