特許
J-GLOBAL ID：200903098025569410
剥離テープ貼付方法および剥離テープ貼付装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
青木 篤
, 鶴田 準一
, 島田 哲郎
, 廣瀬 繁樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-159617
公開番号（公開出願番号）：特開2007-329315
出願日： 2006年06月08日
公開日（公表日）： 2007年12月20日
要約：
【課題】ウェーハにおける割れ等の防止および剥離テープとダイシングテープとが接着するのをを防止する。【解決手段】ウェーハ(20)の表面に貼付けられた表面保護フィルム(11)に剥離テープ(4)を貼付ける剥離テープ貼付方法において、表面保護フィルムを上方に向けてウェーハをテーブル(31)上に支持し、剥離テープ貼付手段(46)を下降させ、それにより、剥離テープをウェーハの表面保護フィルム上に押付けて貼付け、ウェーハの表面保護フィルムと剥離テープ貼付手段との間の圧力を検出し、検出された圧力検出値(P)が所定の値(P0)以上になった場合には、剥離テープ貼付手段を下降停止させる。また、ウェーハの表面保護フィルムと剥離テープ貼付手段との間の距離(L)が所定値(L0)以下になった場合に、剥離テープ貼付手段を下降停止させてもよい。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ウェーハの表面に貼付けられた表面保護フィルムに剥離テープを貼付ける剥離テープ貼付方法において、
前記表面保護フィルムを上方に向けて前記ウェーハをテーブル上に支持し、
剥離テープ貼付手段を下降させ、それにより、前記剥離テープを前記ウェーハの前記表面保護フィルム上に押付けて貼付け、
さらに、
前記ウェーハの表面保護フィルムと前記剥離テープ貼付手段との間の圧力を検出し、
検出された圧力検出値が所定の値以上になった場合には、前記剥離テープ貼付手段を下降停止させる剥離テープ貼付方法。
IPC (2件)：
H01L 21/683
, H01L 21/304
H01L21/68 N
, H01L21/304 622P
5F031CA02
, 5F031DA15
, 5F031HA53
, 5F031HA78
, 5F031JA01
, 5F031JA08
, 5F031JA32
, 5F031JA45
, 5F031MA38
, 5F031PA20
