特許
J-GLOBAL ID：200903098036160085
ガラス基板の冷却装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-215559
公開番号（公開出願番号）：特開平11-043337
出願日： 1997年07月25日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：
【要約】【課題】 冷却しようとするガラス基板と冷却パネルとの密着性等を改善して短縮時間で均一に冷却し得るようにする。【解決手段】 冷媒流路を貫通せしめた冷却パネル1a〜1dを一定間隔Gに同一レベルに配設して広い冷却ゾーンを形成すると共に各冷却パネルどうし間に吸気ノズル4及び搬送ローラ7,8を配設し、かつ、搬送ローラ7,8を上下動自在に装着している。その為、前工程側から搬送されて来る加熱状態のガラス基板3を吸気ノズル4で吸引してガラス基板3を冷却パネル1a〜1dに密着せしめて冷却し、そして、搬送ローラ7,8で間歇的にガラス基板3を水平に持ち上げて後工程側へ搬送せしめて冷却パネル1a〜1dで支持する箇所を次々と変えて冷却することでき、よって、短縮時間で均一に冷却することができる。
請求項（抜粋）：
冷却しようとするガラス基板を支持し得るように、冷媒流路を貫通せしめた冷却パネルの複数枚を一定間隔に同一レベルに配設し、かつ、隣り合う前記冷却パネルどうし間に、前記ガラス基板を吸引して前記冷却パネルに密着せしめる吸気ノズルと、前記冷却パネルで支持される箇所を変えるように前記ガラス基板を間歇的に持ち上げて搬送せしめる上下動自在の搬送ローラとを配設したことを特徴とするガラス基板の冷却装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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