半導体・液晶製造装置用部材

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-371726
公開番号（公開出願番号）：特開2000-191369
出願日： 1998年12月28日
公開日（公表日）： 2000年07月11日
要約：

【要約】【課題】耐プラズマ性に優れ、耐熱衝撃性に優れるセラミック部材を提供する。【解決手段】フッ素系や塩素系等のハロゲン系腐食性ガスあるいはそのプラズマに曝される部位に耐食性を具備させるために、イットリアとアルミナの化合物を主結晶とし、ジルコニアを500〜50000ppm含むセラミックスで耐食性部材を構成する。

請求項（抜粋）：

イットリアとアルミナの化合物を主結晶相とし、副成分としてジルコニアを500〜50000ppm含むことを特徴とする耐食性セラミック部材。

Fターム (8件)：

4G031AA07 , 4G031AA08 , 4G031AA12 , 4G031AA29 , 4G031BA23 , 4G031BA26 , 4G031CA04 , 4G031CA07

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭63-260856
特開平3-218963

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