特許
J-GLOBAL ID：200903098039423060
欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
和田 成則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-124968
公開番号（公開出願番号）：特開平5-322792
出願日： 1992年05月18日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：
【要約】【目的】 欠陥を検出するため映像信号に対して適正な弁別レベルを設定する。【構成】 撮像部1からの映像信号をA/Dコンバータ2がA/D変換して階調データを階調データメモリ4に出力するとともに、同じく映像信号を弁別部3が弁別レベルに基づき2値化して2値データを出力する。2値データは、2値データメモリ5に格納される一方、欠陥検出部6に取り込まれ、欠陥検出部6は、2値データに基づき欠陥を検出した時、欠陥検出信号を階調データメモリ4及び2値データメモリ5に出力する。そして、欠陥検出信号を受信した階調データメモリ4及び2値データメモリ5から階調データ及び2値データが表示制御部7に出力され、両データに基づく欠陥の濃淡及び2値画像がCRT8により同時に表示される。
請求項（抜粋）：
検査対象物に存在する欠陥を撮像手段が撮像するとともに、撮像手段からの映像信号に基づき表示手段が上記欠陥の画像を表示する欠陥検査装置において、上記撮像手段から出力される映像信号をA/D変換するA/D変換手段と、上記撮像手段から出力される映像信号を弁別レベルに基づき2値化する弁別手段と、上記A/D変換手段から出力される階調データを格納する階調データ格納手段と、上記弁別手段から出力される2値データを格納する2値データ格納手段と、上記弁別手段から出力される2値データに基づき上記欠陥を検出する欠陥検出手段と、上記欠陥検出手段から出力される検出信号に基づき上記階調データ格納手段、2値データ格納手段それぞれに格納された階調データ及び2値データを取り込むとともに、取り込んだ両データに基づく上記欠陥の画像を上記表示手段が同時に表示するように制御する表示制御手段と、を備えることを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G01N 21/89
, G06F 15/62 400
