特許
J-GLOBAL ID：200903098042422679
ウェハブレーキング装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西脇 民雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-305917
公開番号（公開出願番号）：特開平9-148276
出願日： 1995年11月24日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【課題】 ウェハのハーフカット線に沿ってブレーキングされ、ブレーキング面の粉塵の飛散や付着の生じないウェハブレーキング装置を提供することにある。【解決手段】 テープ20a上に貼付けされたハーフカット済みのウェハ20を各チップ20bにブレーキングするウェハブレーキング装置20Aにおいて、前記ハーフカットの線は、格子状に設けられると共に、前記テープ20a側から加圧して前記カット線からブレーキングする加圧手段46が設けられ、該加圧手段46は、前記テープ20a上を加圧しながら摺動する加圧部を有し、該加圧部が、前記直交するカット線の一方に垂直な方向に移動して該一方のカット線からブレーキングした後、他のカット線に垂直な方向に移動して該他方のカット線からブレーキングするようにした。
請求項（抜粋）：
テープ上に貼付けされたハーフカット済みのウェハを各チップにブレーキングするウェハブレーキング装置において、前記ハーフカットの線は、格子状に設けられると共に、前記テープ側から加圧して前記カット線からブレーキングする加圧手段が設けられ、該加圧手段は、前記テープ上を加圧しながら摺動する加圧部を有し、該加圧部が、前記直交するカット線の一方に垂直な方向に移動して該一方のカット線からブレーキングした後、他のカット線に垂直な方向に移動して該他方のカット線からブレーキングするようにしたことを特徴とするウェハブレーキング装置。
FI (2件)：
H01L 21/78 V
, H01L 21/78 T
