特許

J-GLOBAL ID：200903098043183198

プローブ装置およびその製造方法、ならびにメディア移動型メモリ装置

発明者： 易 幼文
出願人/特許権者： ヒューレット・パッカード・カンパニー
代理人 (1件)： 久保田 千賀志 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-130870
公開番号（公開出願番号）：特開平9-293283
出願日： 1996年04月25日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：

【要約】【課題】 微小針の高さを高くせず、かつプローブアーム先端の動作ストロークを小さくできる、プローブ装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】 電気回路2と、先端に微小針35が形成されたカンチレバー形アーム31a〜31cを持つプローブ3とからなるプローブ装置100であって、電気回路2の配線が形成され、プローブ3は微小針35をプローブ対象に対して近接または接触、および乖離させるためのプローブ電極31a,31c,4を有しかつ電気回路2の配線よりもプローブ対象に近い位置に形成され、アーム31a〜31cが金属により単層に形成され、たことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

電気回路と、先端に微小針が形成されたカンチレバー形アームを持つプローブとからなるプローブ装置であって、前記電気回路の配線が形成され、前記プローブは、前記微小針をプローブ対象に対して近接または接触、および乖離させるためのプローブ電極を有し、かつ前記電気回路の配線よりもプローブ対象に近い位置に形成され、前記アームが金属により単層に形成され、たことを特徴とするプローブ装置。

IPC (3件)：

G11B 9/00 ,  G01N 37/00 ,  G01R 31/00

FI (3件)：

G11B 9/00 ,  G01N 37/00 A ,  G01R 31/00