感光性セラミックス組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-260891
公開番号（公開出願番号）：特開2002-148786
出願日： 2001年08月30日
公開日（公表日）： 2002年05月22日
要約：

【要約】【課題】フォトリソグラフィー法を用いた高アスペクト比かつ高精細のビアホール形成が可能な感光性セラミックス組成物を得て、無収縮焼成に供する。【解決手段】無機粉末と感光性有機成分を必須成分とする感光性セラミックス組成物であって、最大の屈折率を持つ成分の屈折率をN1、最小の屈折率を持つ成分の屈折率をN2とした時に、N1-N2の値が0.25以下であり、かつ焼成前後の収縮率がX-Y面方向で5%以下であることを特徴とする感光性セラミックス組成物。

請求項（抜粋）：

無機粉末と感光性有機成分を必須成分とする感光性セラミックス組成物であって、最大の屈折率を持つ成分の屈折率をN1、最小の屈折率を持つ成分の屈折率をN2とした時に、N1-N2の値が0.25以下であり、かつ焼成前後の収縮率がX-Y面方向で5%以下であることを特徴とする感光性セラミックス組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/004 501 , C04B 35/16 , H05K 3/46

FI (4件)：

G03F 7/004 501 , H05K 3/46 H , H05K 3/46 T , C04B 35/16 Z

Fターム (32件)：

2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA20 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC14 , 2H025BC66 , 2H025CA00 , 2H025CB13 , 2H025CB14 , 2H025CB43 , 2H025CC08 , 2H025FA17 , 4G030AA07 , 4G030AA08 , 4G030AA17 , 4G030AA35 , 4G030AA36 , 4G030AA37 , 4G030AA51 , 4G030BA12 , 4G030HA04 , 4G030HA09 , 4G030HA18 , 4G030HA25 , 5E346AA12 , 5E346AA43 , 5E346CC17 , 5E346DD03 , 5E346EE23 , 5E346HH11

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