特許
J-GLOBAL ID：200903098075646165
研磨用シート
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-147225
公開番号（公開出願番号）：特開平9-019869
出願日： 1996年06月10日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：
【要約】【課題】従来に比べて寿命が長くなり、しかも精密な平面研磨を行うことが出来る研磨用シートを提供することが目的である。【解決手段】研磨用シートは、円板形状のシート1と、シートの面上に配置され夫々が研磨材の粉末を含む複数のチップ12と、を備えている。シート1の半径方向において外方から内方に向かうにつれてチップに12含まれる研磨材中のダイヤモンド粉末の密度が小さくされているか、または複数のチップ12の夫々に含まれる研磨材中のダイヤモンド粉末の密度を実質的に同一とするとともにシート1の面からの複数のチップ12の夫々の突出端面がシート1の半径方向において外方から内方に向かうにつれてシート1の面からの突出距離が小さくなるよう斜めに形成されている。
請求項（抜粋）：
円板形状のシートと;円板形状のシートの面上に配置され、夫々が研磨材の粉末を含む複数のチップと;を備えており、シートの半径方向において外方から内方に向かうにつれてチップに含まれる研磨材中のダイヤモンド粉末の密度が小さくされている、ことを特徴とする研磨用シート。
IPC (3件)：
B24D 7/06
, B24D 3/00 310
, B24D 7/14
B24D 7/06
, B24D 3/00 310 C
, B24D 7/14
