単槽式洗浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-143543
公開番号（公開出願番号）：特開平11-340177
出願日： 1998年05月26日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：

【要約】【課題】純水による薬液置換に要する時間を短縮して、洗浄の作業性が良く、作業能率の高い単槽式洗浄装置を提供する。【解決手段】本単槽式洗浄装置10は、処理槽12を備え、処理槽内に収容した薬液にウエハを浸漬して薬液洗浄を施し、次いで処理槽内の薬液を純水で置換して純水リンスを施す。本装置は、更に、純水を収容する純水タンク14を備え、薬液の純水による置換時に、純水供給システムの純水供給主管19及び純水タンク14の双方から純水を処理槽12に供給することにより、純水による処理槽内の薬液の置換時間を短縮している。

請求項（抜粋）：

純水供給システム及び薬液供給システムからそれぞれ純水及び薬液が供給される処理槽を備え、処理槽内に収容した薬液にウエハを浸漬して薬液洗浄処理を施し、次いで処理槽内の薬液を純水で置換してウエハに純水リンス処理を施す単槽式洗浄装置において、純水を収容する純水タンクを処理槽の近傍に設け、純水による薬液の置換時に、純水供給システムから純水を処理槽に供給すると共に、併せて、純水タンクに収容した純水を処理槽に供給するようにしたことを特徴とする単槽式洗浄装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 642 , B08B 3/08

FI (2件)：

H01L 21/304 642 A , B08B 3/08 A

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