特許
J-GLOBAL ID：200903098079786212
異物検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-262428
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109660
出願日： 1992年09月30日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：
【要約】【目的】 検体中の異物を光学的観測手段によって検査するに際して、検体面の傷や付着した塵による影像ノイズを特別な装置を用いず簡単に排除して、これらの異物の存在を効率的かつ確実に検査することができ、またこれらの種類、形状、大きさを効率よくかつ精密に検査することができる異物検査方法を得る。【構成】 異物の影像が識別できる程度に撮影レンズ21の焦点を検査部位Sからずらして検査する。また、このような検査で異物の影像が検知されたとき、合焦してこれを精査する。
請求項（抜粋）：
検体中の異物を光学的観測手段によって検査するに際して、この光学的観測手段の焦点を上記異物の影像が識別できる程度に検査部位からずらして検査することを特徴とする異物検査方法。
IPC (3件)：
G01N 21/89
, G01B 11/30
, G03B 15/00
