特許

J-GLOBAL ID：200903098081690214

両面露光装置

発明者： 大霜 征彦 ,  栗政 利彦
出願人/特許権者： 東レエンジニアリング株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-039635
公開番号（公開出願番号）：特開2006-227207
出願日： 2005年02月16日
公開日（公表日）： 2006年08月31日
要約：

【課題】帯状ワークの表裏両面に品質の良い露光パターンを比較的省スペースの装置構成で形成することができる両面露光装置を提供すること。【解決手段】帯状ワークWを間歇的に垂直方向に搬送する第1間歇搬送機構37Lと、第1間歇搬送機構37Lにより搬送された帯状ワークWの表側露光面にプロキシミティ露光を行う第1露光部3Lと、第1露光部3Lにより露光された帯状ワークWを垂直方向に間歇的に搬送する第2間歇搬送機構37Rと、第2間歇搬送機構37Rにより搬送された帯状ワークWの裏側露光面にプロキシミティ露光を行う第2露光部3Rとを備え、第1露光部3Lと第2露光部3Rとが互いに対向して垂直に立設していることを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

帯状ワークを間歇的に垂直方向に搬送する第1間歇搬送機構と、第1間歇搬送機構により搬送された帯状ワークの表側露光面にプロキシミティ露光を行う第1露光部と、第1露光部により露光された帯状ワークを垂直方向に間歇的に搬送する第2間歇搬送機構と、第2間歇搬送機構により搬送された帯状ワークの裏側露光面にプロキシミティ露光を行う第2露光部とを備え、第1露光部と第2露光部とが互いに対向して垂直に立設していることを特徴とする帯状ワークの両面露光装置。

IPC (1件)：

G03F 7/20

FI (1件)：

G03F7/20 501

Fターム (9件)：

2H097AA01 ,  2H097AB05 ,  2H097DB01 ,  2H097DB07 ,  2H097DB20 ,  2H097GA45 ,  2H097GA50 ,  2H097LA09 ,  2H097LA20

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 密着露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-085932   出願人：大日本スクリーン製造株式会社