特許
J-GLOBAL ID：200903098106110846
イオウ化カドミウム膜の生成方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-054604
公開番号（公開出願番号）：特開平7-240385
出願日： 1994年02月28日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：
【要約】【目的】 溶液成長法でイオウ化カドミウム膜を生成するに際して成膜個所に選択性をもたせて所望の個所でのみ成膜可能とし、量産性に富んだイオウ化カドミウム膜の生成方法および装置を提供する。【構成】 水溶液S中のカドミウムイオンとイオウイオンとを所定温度以上で化学反応させることにより生成するイオウ化カドミウム膜の溶液成長法において、イオウ化カドミウム膜を成膜するための基板部Aのみを加熱することにより、イオウ化カドミウム膜生成個所に選択性をもたせた。
請求項（抜粋）：
水溶液中のカドミウムイオンとイオウイオンとを所定温度以上で化学反応させることにより生成するイオウ化カドミウム膜の溶液成長法において、前記イオウ化カドミウム膜を成膜するための基板部のみを加熱することにより、イオウ化カドミウム膜生成個所に選択性をもたせたことを特徴とするイオウ化カドミウム膜生成方法。
IPC (2件)：
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