特許

J-GLOBAL ID：200903098106912802

走査型プローブ顕微鏡用プローブ及びその作製方法

発明者： 戸田 明敏
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-312154
公開番号（公開出願番号）：特開平9-152436
出願日： 1995年11月30日
公開日（公表日）： 1997年06月10日
要約：

【要約】【課題】測定環境を問わず、任意の形状寸法を有する測定対象領域の表面情報を再現性良く測定することが可能な走査型プローブ顕微鏡用プローブを提供する。【解決手段】プローブ6は、支持部8から延出した短冊形状の片持ち梁10と、この片持ち梁の延出端(自由端)に形成された探針12とを備える。探針は、略四角柱形状を成しており、その近傍部P1から中間延出部P2に向うに従って直径が連続的に小さくなった後、中間延出部から先端部P3に向うに従って直径が連続的に大きくなっている。探針の先端部P3は、4つの辺から成る略アストロイド形状を成しており、片持ち梁の長手方向をXとすると、4つの辺の第1〜第4の交点(突起部)14a,14b,14c,14dを結ぶ対角線のうち、第1及び第3の突起部14a,14cを結ぶ対角線の方向は、長手方向に対して±45°の角度範囲内、好ましくは、長手方向と略平行になるように設定される。

請求項（抜粋）：

支持手段と、この支持手段から延出し且つ弾性変形自在な薄板形状の片持ち梁と、この片持ち梁に形成され且つ略四角柱形状又は略円柱形状を成す探針と、この探針に形成され且つ走査時に測定対象領域に接近若しくは接触する先端部とを備えており、前記先端部の形状寸法は、他の部位よりも突出して拡大していることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用プローブ。

IPC (3件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28

FI (3件)：

G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z ,  H01J 37/28 Z