特許

J-GLOBAL ID：200903098111886992

精密機器製造用研磨シート

発明者： 田中 広志 ,  中島 正博
出願人/特許権者： 日本バイリーン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-118396
公開番号（公開出願番号）：特開平9-277175
出願日： 1996年04月15日
公開日（公表日）： 1997年10月28日
要約：

【要約】【課題】 表面に深い傷をつけることなく、基材表面の凹凸が等間隔となるように研磨することのできる精密機器製造用研磨シートを提供すること。【解決手段】 本発明の精密機器製造用研磨シートは、繊維径10μm以下の極細繊維を主体として絡合しており、しかも少なくとも片面に立毛を有する不織布を、少なくとも片面に有し、この不織布の立毛が表面に露出したものである。

請求項（抜粋）：

繊維径10μm以下の極細繊維を主体として絡合しており、しかも少なくとも片面に立毛を有する不織布を、少なくとも片面に有し、該不織布の立毛が表面に露出していることを特徴とする、精密機器製造用研磨シート。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭58-169557
  
• 特開昭59-015549