特許
J-GLOBAL ID:200903098113730825
平面走査機構及びレーザ光源装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
阿仁屋 節雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-118480
公開番号(公開出願番号):特開2000-308930
出願日: 1999年04月26日
公開日(公表日): 2000年11月07日
要約:
【要約】【課題】 可動部分を動かすための駆動負荷を減らせて高速走査が可能であり、しかも、ガイド手段の個数を減らせて、小型軽量で、低コストを実現できる平面走査機構を提供する。【解決手段】 ベース1上に、第1のX軸直線ガイド2と第1のY軸直線ガイド3とを設けると共に、同じベース1上に、第1のX軸直線ガイド2の可動要素2Bを移動させるX軸駆動機構8と、第1のY軸直線ガイド3の可動要素3Bを移動させるY軸駆動機構9とを設ける。更に、第1のX軸直線ガイド2の可動要素2Bの上に第2のY軸直線ガイド4を設けると共に、第1のY軸直線ガイド3の可動要素3Bの上に第2のX軸直線ガイド5を設け、第2のY軸直線ガイド4の可動要素4Bと第2のX軸直線ガイド5の可動要素5Bとを一体に連結して、その上に作業要素10を取り付ける。
請求項(抜粋):
基準平面内において互いに直交する方向をX軸方向とY軸方向とした場合、前記基準平面内に置かれたベース上に、自身の可動要素をX軸方向に直線ガイドする第1のX軸直線ガイドと、自身の可動要素をY軸方向に直線ガイドする第1のY軸直線ガイドとを設けると共に、前記ベース上に、前記第1のX軸直線ガイドの可動要素を移動させるX軸駆動機構と、前記第1のY軸直線ガイドの可動要素を移動させるY軸駆動機構とを設け、更に、前記第1のX軸直線ガイドの可動要素の上に、自身の可動要素をY軸方向に直線ガイドする第2のY軸直線ガイドを設けると共に、前記第1のY軸直線ガイドの可動要素の上に、自身の可動要素をX軸方向に直線ガイドする第2のX軸直線ガイドを設け、前記第2のY軸直線ガイドの可動要素と前記第2のX軸直線ガイドの可動要素とを一体に連結して、その上に作業手段を取り付けたことを特徴とする平面走査機構。
IPC (4件):
B23Q 1/25
, B23K 26/08
, B23Q 5/28
, B23Q 5/38
FI (4件):
B23Q 1/18 A
, B23K 26/08 B
, B23Q 5/28 B
, B23Q 5/38 B
Fターム (8件):
3C048BB01
, 3C048BB03
, 3C048BC02
, 3C048DD06
, 3C048DD26
, 3C048EE07
, 4E068CB05
, 4E068CE02
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