特許
J-GLOBAL ID：200903098120496935
縦型熱処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
油井 透 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-211548
公開番号（公開出願番号）：特開平11-054593
出願日： 1997年08月06日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】 ボートやウェーハの破損事故を最小限に抑えることができ、しかも事故が起きたときでも装置の停止時間を少なくする。【解決手段】 熱処理を行うためにボート20を熱処理炉40内に挿入する。このときメカ制御部80は、熱処理炉40内に挿入されるウェーハ1の枚数を透過型センサ50及びウェーハ検出部60の出力に基づいてカウントし、枚数を記憶する。ウェーハ1の熱処理後、ボート20を下降させる。予め設定されたウェーハ検出開始位置に達したとき、熱処理炉40内から引き出されるウェーハ1の枚数カウントを開始する。予め設定されたウェーハ検出終了位置に達したとき、ウェーハ1の枚数カウントを終了する。検出されたウェーハ枚数と記憶されていたウェーハ1の枚数とを比較し、枚数が異なるとき、アラーム90によってウェーハ1の破損がある警報音をアラーム90から出力し、次にウェーハ移載機30によって行われるボート20からウェーハカセット10へのウェーハ1の搬送動作を禁止する。
請求項（抜粋）：
ウェーハカセットと、ウェーハを多段に保持するボートと、前記ウェーハカセットと前記ボートとの間で前記ウェーハを搬送するウェーハ移載機と、前記ボートの上方に配置された熱処理炉とを備える縦型熱処理装置において、前記ボートを昇降させることによって前記ボートに保持された前記ウェーハを検出するウェーハ検出手段と、前記ボートの位置を検出するボート昇降位置検出手段と、前記ウェーハ検出手段と前記ボート昇降位置検出手段との出力に基づいてそれぞれ検出されたボート上昇時及び下降時の前記ウェーハの枚数を比較し、比較結果にしたがって前記ボートからウェーハカセットへのウェーハ移載機のウェーハ搬送動作を停止させる制御手段とを備えることを特徴とする縦型熱処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/68
, H01L 21/22 511
H01L 21/68 D
, H01L 21/22 511 J
