特許
J-GLOBAL ID：200903098122811641
インクジェットヘッドの加工方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-225950
公開番号（公開出願番号）：特開平6-079486
出願日： 1992年08月25日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：
【要約】【目的】 感光性ガラス基板に貫通穴を形成することによりインクジェットヘッドのノズルを形成する作業を、エキシマレーザの照射を用いてバリやチッピングを生じさせることなく行う。【構成】 感光性ガラス基板10のエキシマレーザ100を照射する側とは反対側の面に石英ガラス板24を固着して、熱の吸収並びに衝撃の受止めを行い、エキシマレーザによる貫通作業完了段階である出射口部分でのバリやチッピングの発生を有効に防止した。なお、他の発明はエキシマレーザ100による貫通穴の形成を一定の深さの凹部の段階で中止し、他方側の面を研磨あるいは同じくエキシマレーザの照射により除去して上記凹部を貫通穴とするようにしている。従って、エキシマレーザによる出射口部の形成(完全な貫通)が回避されるので、パリやチッピングの発生も有効に回避される。
請求項（抜粋）：
感光性ガラス基板に貫通穴を形成してノズルを形成するインクジェットヘッドの加工方法において、前記感光性ガラス基板への貫通穴の形成は、エキシマレーザの透過性が良好でかつエキシマレーザによっては加工されない硬度を有する硬質部材を前記感光性ガラス基板の一方の面に密着配置する工程と、 エキシマレーザを前記感光性ガラス基板の他方の面から照射する照射工程と、 によって行われることを特徴とするインクジェットヘッドの加工方法。
IPC (3件)：
B23K 26/00 330
, B41J 2/135
, B23K103:00
