特許
J-GLOBAL ID：200903098134625371
ステージの制御装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-191763
公開番号（公開出願番号）：特開平5-035335
出願日： 1991年07月31日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：
【要約】【目的】 ステージの制御装置を、制御特性および信頼性の向上が図れるようにする。【構成】 制御装置10は、補償器12の出力信号をn個の出力端子のいずれか一つに出力する選択部15と、選択部15の各出力端子からの出力信号がそれぞれ入力される、遮断周波数および遮断ピーク値が初期状態を中心としてわずかずつ異なるn個の共振除去部131〜13nと、変位量Xより共振検出用信号を作成する共振検出部16と、共振検出用信号から非共振状態であるか共振状態であるかを判断して選択部15を制御する選択判断部17とからなり、選択判断部17が、共振状態であると判断したときには、まず遮断周波数が隣合う共振除去部に接続された出力端子に、その後遮断ピーク値が隣合う共振除去部に接続された出力端子に補償器12の出力信号を出力するよう選択部17を制御する。
請求項（抜粋）：
駆動装置により摺動案内上を摺動させられるステージの変位量を制御するステージの制御装置において、所定の目標値と前記変位量との差が入力される補償器と、該補償器の出力信号が入力され、該補償器の出力信号を複数個の出力端子のいずれか一つに出力する選択部と、該選択部の前記各出力端子からの出力信号がそれぞれ入力される、遮断周波数および遮断ピーク値が初期状態を中心としてわずかずつ異なる複数個の共振除去部と、前記変位量が入力され、該変位量より共振検出用信号を作成する共振検出部と、該共振検出部で作成された前記共振検出用信号から非共振状態であるか共振状態であるかを判断して、前記選択部を制御する選択判断部とを含み、前記選択判断部が、共振状態であると判断したときには、前記遮断周波数が隣合う前記共振除去部に接続された前記出力端子に前記補償器の出力信号を出力するよう前記選択部を制御したのち、前記遮断ピーク値が隣合う前記共振除去部に接続された前記出力端子に前記補償器の出力信号を出力するよう前記選択部を制御することを特徴とするステージの制御装置。
IPC (2件)：
G05D 3/12 305
, G05D 3/12
