特許
J-GLOBAL ID：200903098141458448
除振装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-250596
公開番号（公開出願番号）：特開平6-288431
出願日： 1992年08月26日
公開日（公表日）： 1994年10月11日
要約：
【要約】【目的】 除振テーブルの浮上保持に電力を要さない、零パワー制御の達成できる磁気浮上方式による除振装置を提供する。【構成】 振動を嫌う装置を搭載する除振テーブル1と、該除振テーブルに固定した磁性体継鉄3と、該磁性体継鉄を磁気力により非接触で浮上支持する設置床6に固定した制御磁石26と、該制御磁石と該磁性体継鉄の間隔を測定する変位センサ5と、該変位センサからの出力を基に前記制御磁石の励磁電流を制御する補償回路9、パワーアンプ10とからなる除振装置において、前記制御磁石26は、バイアス磁束用の永久磁石11と制御磁束用の電磁石8を同一磁気回路に備え、前記電磁石8の励磁電流の積分値をパワーアンプ10入口にフィードバックする回路15を備えたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
振動を嫌う装置を搭載する除振テーブルと、該除振テーブルに固定した磁性体継鉄と、該磁性体継鉄を磁気力により非接触で浮上支持する設置床に固定した制御磁石と、該制御磁石と該磁性体継鉄の間隔を測定する変位センサと、該変位センサからの出力を基に前記制御磁石の励磁電流を制御する補償回路、パワーアンプとからなる除振装置において、前記制御磁石は、バイアス磁束用の永久磁石と制御磁束用の電磁石を同一磁気回路に備え、前記電磁石の励磁電流の積分値をパワーアンプ入口にフィードバックする回路を備えたことを特徴とする除振装置。
IPC (5件)：
F16F 15/03
, F16F 15/02
, G05D 19/02
, G12B 9/08
, H01J 37/16
