特許

J-GLOBAL ID：200903098143357690

SAWフィルタの製造方法

発明者： 浜 真之 ,  深井 弘之
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-006146
公開番号（公開出願番号）：特開2003-207889
出願日： 2002年01月15日
公開日（公表日）： 2003年07月25日
要約：

【要約】【課題】小型、軽量でかつ熱安定性に優れるSAWフィルタ用の感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】本発明は、予め離型処理を施した耐熱性樹脂フィルムに感光性樹脂組成物を塗布することによって、耐熱性樹脂フィルムと感光性樹脂組成物間の接着強度を低減し、従来の問題であった感光性樹脂組成物のアルミ界面での剥離の問題を解決したものであり、小型、軽量でかつ熱安定性に優れたSAWフィルタの製造を可能とするものである。

請求項（抜粋）：

アルミ処理を施したシリコンウエハー上に感光性樹脂層を形成し、露光、現像処理によって感光性樹脂層に、くし型パターンを形成するフォトリソ工程を利用したSAWフィルタの製造方法において、予め離型処理を施した耐熱性樹脂フィルム上に感光性樹脂組成物を塗布した感光性樹脂フィルムを用いることを特徴とするSAWフィルタの製造方法。

IPC (2件)：

G03F 7/004 512 ,  H03H 3/08

FI (2件)：

G03F 7/004 512 ,  H03H 3/08

Fターム (23件)：

2H025AA16 ,  2H025AB11 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC74 ,  2H025CA00 ,  2H025CB11 ,  2H025CC08 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  2H025EA08 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  5J097AA32 ,  5J097BB11 ,  5J097DD01 ,  5J097FF04 ,  5J097HA04 ,  5J097HA07 ,  5J097JJ03 ,  5J097JJ10 ,  5J097KK09