特許
J-GLOBAL ID：200903098146467569

積層型圧電アクチュエータ

発明者：
芦田 幸喜

芦田 幸喜 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-275053
公開番号（公開出願番号）：特開2001-102647
出願日： 1999年09月28日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：
【要約】【課題】高圧力下で高電界を高速で印加し、長期間連続作動する場合でも外部電極と内部電極の剥離を防止できる積層型圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】複数の圧電体1と複数の内部電極3とを交互に積層してなり、第1内部電極3aの端部、第2内部電極3bの端部がそれぞれ異なる側面に露出するアクチュエータ本体1と、該アクチュエータ本体1の内部電極3の端部が露出した側面にそれぞれ設けられた導電性接着層9とを具備するとともに、アクチュエータ本体1の側面に露出した第1または第2内部電極3a、3b同士の端部間に、第2または第1内部電極3b、3aの端部が露出する凹溝5を形成し、該凹溝5に絶縁体7を充填してなり、さらに導電性接着層9が形成されるアクチュエータ本体1の側面における圧電体2の表面粗さRaを5〜10μmとした。
請求項（抜粋）：
複数の圧電体と複数の内部電極とを交互に積層してなり、前記内部電極が交互に第1内部電極または第2内部電極とされ、該第1内部電極の端部、第2内部電極の端部がそれぞれ異なる側面に露出するアクチュエータ本体と、該アクチュエータ本体の内部電極の端部が露出した側面にそれぞれ設けられ、前記第1内部電極の端部同士、前記第2内部電極の端部同士をそれぞれ接続する導電性接着層とを具備するとともに、前記アクチュエータ本体の側面に露出した前記第1または第2内部電極同士の端部間に、前記第2または第1内部電極の端部が露出する凹溝を形成し、該凹溝に絶縁体を充填してなり、さらに前記導電性接着層が形成されるアクチュエータ本体の側面における圧電体の表面粗さRaを5〜10μmとしたことを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。
IPC (2件)：
H01L 41/083 ,  H02N 2/00
FI (2件)：
H02N 2/00 B ,  H01L 41/08 S
引用特許：
審査官引用 (2件)

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