特許

J-GLOBAL ID：200903098146477904

薄膜トランジスタアレイ基板及びその製造方法

発明者： 金 東 奎
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (2件)： 小野 由己男 ,  稲積 朋子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-302809
公開番号（公開出願番号）：特開2004-088113
出願日： 2003年08月27日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：

【課題】 製造工程中に発生する静電気を容易に放電させ、追加工程なしで静電気保護素子を製作する。【解決手段】 絶縁基板の上部にCrなどの下部膜及びAlを含む上部膜を順に積層してパターニングし、ゲート線及びゲート電極を含むゲート配線と、ゲート短絡線及び抵抗段差用連結線を含む第1静電気保護用配線とを形成する。ゲート絶縁膜及び半導体層を順に形成した後、Crなどの下部膜及びAlを含む上部膜を順に積層してパターニングし、データ線、ソース電極、及びドレーン電極を含むデータ配線と、データ短絡線及び抵抗段差用連結線を含む第2静電気保護用配線とを形成する。保護膜を積層してパターニングし、ドレーン電極及び抵抗段差用連結線を露出する接触孔を形成した後、アルミニウム全面エッチングで露出された上部膜を除去し、保護膜の上部に透明な導電物質を積層してパターニングし、ドレーン電極に連結される画素電極を形成する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

絶縁基板と、 前記絶縁基板の上に形成されており、ゲート線及び前記ゲート線に連結されているゲート電極を含むゲート配線と、 前記ゲート配線を覆うゲート絶縁膜と、 前記ゲート絶縁膜の上部に形成されている半導体層と、 前記半導体層の上部に形成されており、前記ゲート線と交差するデータ線、前記データ線に連結されているソース電極、及び前記ゲート電極を中心に前記ソース電極と対向するドレーン電極を含むデータ配線と、 前記ゲート線又は前記データ線に各々連結されており、互いに異なる線抵抗を有する抵抗段差部を有する抵抗段差用配線と、 前記ドレーン電極に連結されている画素電極と、 を含む薄膜トランジスタアレイ基板。

IPC (8件)：

H01L29/786 ,  H01L21/28 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/822 ,  H01L27/04 ,  H01L29/417 ,  H01L29/423 ,  H01L29/49

FI (8件)：

H01L29/78 623A ,  H01L21/28 301R ,  H01L29/78 612C ,  H01L29/78 617L ,  H01L27/04 H ,  H01L21/88 R ,  H01L29/50 M ,  H01L29/58 G

Fターム (115件)：

2H092JA26 ,  2H092JA38 ,  2H092JA42 ,  2H092JB13 ,  2H092JB23 ,  2H092JB24 ,  2H092JB32 ,  2H092JB33 ,  2H092JB38 ,  2H092JB58 ,  2H092JB63 ,  2H092JB69 ,  2H092JB79 ,  2H092MA05 ,  2H092MA08 ,  2H092MA12 ,  2H092MA35 ,  2H092MA37 ,  2H092NA14 ,  2H092NA17 ,  2H092NA29 ,  4M104AA09 ,  4M104BB02 ,  4M104BB13 ,  4M104BB16 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD17 ,  4M104DD20 ,  4M104FF13 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104HH11 ,  5F033GG04 ,  5F033HH08 ,  5F033HH09 ,  5F033HH14 ,  5F033HH17 ,  5F033HH20 ,  5F033HH38 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ38 ,  5F033KK04 ,  5F033KK08 ,  5F033KK09 ,  5F033KK14 ,  5F033KK17 ,  5F033KK20 ,  5F033MM05 ,  5F033MM20 ,  5F033NN13 ,  5F033NN17 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ37 ,  5F033RR01 ,  5F033RR06 ,  5F033RR11 ,  5F033SS11 ,  5F033SS15 ,  5F033VV09 ,  5F033VV15 ,  5F033XX00 ,  5F038AV06 ,  5F038BH01 ,  5F038BH02 ,  5F038BH13 ,  5F038CD12 ,  5F038CD18 ,  5F038EZ06 ,  5F038EZ20 ,  5F110AA22 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE23 ,  5F110EE37 ,  5F110EE42 ,  5F110FF03 ,  5F110FF29 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG25 ,  5F110GG44 ,  5F110GG58 ,  5F110HK02 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK05 ,  5F110HK06 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK22 ,  5F110HK33 ,  5F110HK34 ,  5F110HL07 ,  5F110HM02 ,  5F110HM19 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN35 ,  5F110NN71 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73 ,  5F110QQ01 ,  5F110QQ03 ,  5F110QQ09

引用特許：

審査官引用 (1件)

• アクティブマトリックス型液晶表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-151084   出願人：株式会社日立製作所, 日立デバイスエンジニアリング株式会社