特許

J-GLOBAL ID：200903098147294900

基板保持装置、基板保持方法および露光装置

発明者： 勝目 智弘 ,  太田 稔也
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-208283
公開番号（公開出願番号）：特開2001-035906
出願日： 1999年07月22日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】 感光基板に生じた変形を解消させるにあたって、簡単な構造で複雑な制御を必要としない基板保持装置および基板保持方法を提供する。【解決手段】 感光基板Pを基板保持面Fの所定位置に保持する基板保持装置について、感光基板Pを吸着した状態で基板保持面Fの面方向に移動可能なベローズ22からなる第1の吸着部20を設けておき、第1の吸着部20が感光基板Pを吸着した状態でしばらく時間をおけば、基板保持面Fから感光基板Pを離脱させることなく感光基板Pの変形が解消する。

請求項（抜粋）：

基板を基板保持面の所定位置に保持する基板保持装置であって、前記基板を吸着した状態で該基板保持面の面方向に移動可能な吸着部を備えることを特徴とする基板保持装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  G03F 7/20 501 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

H01L 21/68 N ,  G03F 7/20 501 ,  H01L 21/30 503 A

Fターム (16件)：

2H097BA03 ,  2H097DB07 ,  2H097DB14 ,  2H097KA03 ,  2H097KA28 ,  2H097LA12 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031GA24 ,  5F031MA27 ,  5F046AA05 ,  5F046BA03 ,  5F046CD01 ,  5F046CD04 ,  5F046CD07