特許

J-GLOBAL ID：200903098153927737

光導波路集積回路装置及びその製造方法

発明者： 岩瀬 正幸
出願人/特許権者： 古河電気工業株式会社
代理人 (1件)： 稲垣 清 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-093104
公開番号（公開出願番号）：特開平8-264748
出願日： 1995年03月27日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【目的】 有機材料からなる光導波路を含む光集積デバイスにおいて温度変化等の影響を軽減し、信頼性向上を図る。【構成】 基板11上に縦溝12を形成し、その内部にクラッド層13及びコア層14を有する有機材料からなる光導波路を形成する。半導体レーザ15は、基板11に別に形成された凹部16内に配置され、クラッド層14と同じ透光性有機材料で封止される。コア層14の幅は半導体レーザ15側で2μm、逆側で10μmである。透光性有機材料は、光機能素子を含む回路全体を封止するパッシベーション膜として機能する。有機材料の温度変化による伸縮に際してもコア層の位置が変化せず、光機能素子との結合の信頼性が向上する。また、光機能素子を先に配置した後に光導波路を形成することで、これらの間の光結合効率の向上が可能となる。

請求項（抜粋）：

少なくとも一つの光機能素子と、該光機能素子と光学的に結合される光導波路とを共通の基板上に備える光導波路集積回路装置において、前記光導波路を透光性有機材料から構成し、該光導波路のクラッド層とコア層とを受容する溝を基板の主面に形成したことを特徴とする光導波路集積回路装置。

IPC (3件)：

H01L 27/15 ,  H01S 3/101 ,  H01S 3/18

FI (3件)：

H01L 27/15 C ,  H01S 3/101 ,  H01S 3/18

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 光信号分配システムとその形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-238614   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
• 特開平4-116506