特許
J-GLOBAL ID：200903098154178215
実時間表面形状計測方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-302896
公開番号（公開出願番号）：特開平10-141927
出願日： 1996年11月14日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：
【要約】【課題】 段差や穴のある被検体の表面形状を実時間かつ高精度で計測する。【解決手段】 被検体表面18からの反射光と参照鏡17からの反射光を2次元光検出器アレイ20上で干渉させる計測用干渉計MIと、参照用干渉計RIに波長可変レーザ11からのレーザ光12を入射させ、波長可変レーザ11の発振波長を走査する。信号処理部30では、2次元光検出器アレイの各ピクセル20nの出力から物体干渉信号の位相シフト量を、検出器25の出力からレーザ光12の波数シフト量を求め、その比から各ピクセルに対応する被検体表面18の高さ分布h(x,y)を演算し、実時間で並列的に出力する。
請求項（抜粋）：
レーザ光を被検体表面に照射するステップと、前記被検体表面で反射又は散乱されたレーザ光と前記レーザ光から形成された参照平面波とを前記被検体表面の結像位置に配置された光検出器アレイ上で干渉させるステップと、前記レーザ光の波長を単調変化させるステップと、前記光検出器アレイの各検出器から得られる物体干渉信号の位相シフト量と前記レーザ光の波数シフト量との比を用いて前記被検体表面の形状を計測するステップとを含むことを特徴とする実時間表面形状計測方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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