特許

J-GLOBAL ID：200903098154981948

(メタ)アクリル酸エステル共重合体の製造方法

発明者： 曽根 篤
出願人/特許権者： 日本ゼオン株式会社
代理人 (1件)： 西川 繁明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-220817
公開番号（公開出願番号）：特開平11-049806
出願日： 1997年08月01日
公開日（公表日）： 1999年02月23日
要約：

【要約】【課題】 化学増幅型レジスト材料として好適な(メタ)アクリル酸エステル共重合体の製造方法を提供すること。【解決手段】 エステル部分にアダマンタン骨格を有する(メタ)アクリル酸エステル(a)と、エステル部分にラクトン骨格を有する(メタ)アクリル酸エステル(b)とを、有機溶媒中、重合開始剤を用いて共重合する(メタ)アクリル酸エステル共重合体の製造方法であって、純度が95%以上の(メタ)アクリル酸エステル(a)及び(メタ)アクリル酸エステル(b)を使用し、(メタ)アクリル酸エステル(a)と(メタ)アクリル酸エステル(b)との仕込みモル比を30:70〜70:30の範囲内とし、酸素を除去した不活性ガス雰囲気下または真空下で、(メタ)アクリル酸エステル(a)と(メタ)アクリル酸エステル(b)と重合開始剤とを含有する有機溶媒溶液を攪拌しながら重合反応させる(メタ)アクリル酸エステル共重合体の製造方法。

請求項（抜粋）：

下記式(a)【化1】(式中、R1は、水素原子またはメチル基であり、R2は、炭素原子数1〜4のアルキル基である。)で表されるエステル部分にアダマンタン骨格を有する(メタ)アクリル酸エステルと、下記式(b)【化2】(式中、R3は、水素原子またはメチル基であり、R4は、炭素原子数1〜4のアルキル基である。)で表されるエステル部分にラクトン骨格を有する(メタ)アクリル酸エステルとを、有機溶媒中、重合開始剤を用いて共重合する(メタ)アクリル酸エステル共重合体の製造方法であって、(1)純度が95%以上の(メタ)アクリル酸エステル(a)及び(メタ)アクリル酸エステル(b)を使用し、(2)(メタ)アクリル酸エステル(a)と(メタ)アクリル酸エステル(b)との仕込みモル比を30:70〜70:30の範囲内とし、(3)不活性ガス雰囲気下または真空下で、(4)(メタ)アクリル酸エステル(a)と(メタ)アクリル酸エステル(b)と重合開始剤とを含有する有機溶媒溶液を攪拌しながら重合反応させる(メタ)アクリル酸エステル共重合体の製造方法。

IPC (3件)：

C08F 2/06 ,  C08F220/18 ,  C08F220/28

FI (3件)：

C08F 2/06 ,  C08F220/18 ,  C08F220/28