特許
J-GLOBAL ID：200903098156184840
複屈折測定装置及び複屈折測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
樺山 亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-312008
公開番号（公開出願番号）：特開平11-142322
出願日： 1997年11月13日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：
【要約】【課題】本発明は、使用する光源の波長を越えるような大きな複屈折をもつ被検物でも、被検物の全面に渡って高速、高精度の測定を可能とした複屈折測定装置を提供することを課題とする。【解決手段】本発明の複屈折測定装置では、所定の偏光状態で光を被検物8に入射させる光源1と、被検物8からの透過光の偏光状態を変化させる偏光素子11と、偏光素子をほぼ光の進行方向周りに回転させる手段15と、偏光素子の回転角度を検知する手段と、複数の受光素子からなり偏光素子を透過した光を受光する受光素子アレイ13と、光源からの光を拡大して被検物に照射し被検物からの透過光を受光素子アレイのほぼ受光面上で結像させる光学系7,9,12と、受光素子にて検出した出力から被検物の複屈折を求める演算手段18とを備えた構成とした。
請求項（抜粋）：
所定の偏光状態で光を被検物に入射させる光源と、前記被検物からの透過光の偏光状態を変化させる偏光素子と、前記偏光素子をほぼ光の進行方向周りに回転させる手段と、前記偏光素子の回転角度を検知する手段と、複数の受光素子からなり前記偏光素子を透過した光を受光する受光素子アレイと、前記光源からの光を拡大して前記被検物に照射し、該被検物からの透過光を受光素子アレイのほぼ受光面上で結像させる光学系と、前記受光素子にて検出した出力から被検物の複屈折を求める演算手段とを備えたことを特徴とする複屈折測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/23
, G01M 11/00 T
