特許

J-GLOBAL ID：200903098158895086

移動ステージ

発明者： 坂井 照男
出願人/特許権者： 旭光学工業株式会社
代理人 (1件)： 金井 英幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-161313
公開番号（公開出願番号）：特開2000-343357
出願日： 1999年06月08日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
要約：

【要約】【課題】 物体を載置するテーブルを、所定方向へ、作業者によって操作される部材に対する操作量に対して所定の比率をなす量だけ正確に移動させることができる移動ステージを、提供する。【解決手段】テーブル30を載置するZ軸スライダ連結板24は、リニアガイドによってベース21に対してZ方向にのみガイドされる二つのZ軸スライダ23,23に、固定されている。従って、テーブル30は、Z方向にのみ移動する。Z軸スライダ連結板24の裏面中央には、一対のローラ25が保持されている。ベース21の底面には、ローラ25を押し上げる斜面がY方向に沿って形成されたスライダ22が、Y方向にのみスライド自在に取り付けられている。このスライダ22は、マイクロメータヘッド27の回転量に正比例して、Y方向に直線移動する。

請求項（抜粋）：

ベースと、前記ベースに対して第1の方向に直進移動可能に取り付けられているとともに、第1の方向における位置とこの第1の方向に直交する第2の方向における位置とが一定比率で変化するように対応付けられたカムを有する第1移動部材と、前記ベースに対して、第2の方向を向いたリニアガイドを介して、第2の方向にのみ移動可能に設けられた第2移動部材と、前記第1移動部材のカムに常時接触するように前記第2移動部材に対して取り付けられたカムフォロワと、物体をその表面上に載置するために前記第2移動部材に対して取り付けられたテーブルとを備えたことを特徴とする移動ステージ。

IPC (3件)：

B23Q 1/25 ,  G03F 7/20 501 ,  G12B 5/00

FI (3件)：

B23Q 1/04 ,  G03F 7/20 501 ,  G12B 5/00 T

Fターム (12件)：

2F078CA03 ,  2F078CA08 ,  2F078CB12 ,  2F078CB18 ,  2F078CC11 ,  2H097KA28 ,  2H097LA10 ,  3C048BC02 ,  3C048CC04 ,  3C048DD06 ,  3C048DD28 ,  3C048EE11