特許
J-GLOBAL ID：200903098164232544
半導体基板処理装置及びカセット治具
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-021475
公開番号（公開出願番号）：特開平8-222615
出願日： 1995年02月09日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】半導体基板処理装置におけるローダ、アンローダの上下動停止精度を向上させ、半導体基板の搬送トラブルや、発塵を防止する。【構成】半導体基板を処理する処理室2と、複数の半導体基板がそれぞれ互いに平行に収納されたカセット治具17を載置及び固定する昇降台12と昇降台12を上昇及び下降させる昇降機構25とを備えたローダ部10、アンローダ部11と、カセット治具17から処理すべき半導体基板を搬出、またはカセット治具17へ処理済みの半導体基板を収容するための半導体基板搬送治具15から構成されてなる半導体基板処理装置の、カセット治具17には半導体基板を支持するための支持用溝の高さに整合させたピッチ基準線19を設け、昇降機構25に接続されたピッチ読み取り器16がピッチ基準線19を検出することにより上昇中又は下降中の昇降台12を停止させる。
請求項（抜粋）：
半導体基板を処理する処理室と、複数の半導体基板がそれぞれ互いに平行に収納されたカセット治具を載置及び固定する昇降台と該昇降台を上昇及び下降させる昇降機構とを備えたローダまたはアンローダと、前記カセット治具から処理すべき半導体基板を搬出、または前記カセット治具へ処理済みの半導体基板を収容するための半導体基板搬送治具から構成されてなる半導体基板処理装置であって、前記カセット治具には、半導体基板を支持するための支持用溝の高さに整合させたピッチ基準線を設け、前記昇降機構に接続された検出手段が前記ピッチ基準線を検出することにより上昇中又は下降中の昇降台を停止させることを特徴とする半導体基板処理装置。
IPC (2件)：
FI (4件)：
H01L 21/68 A
, H01L 21/68 L
, H01L 21/68 V
, B65G 49/07 D
