特許

J-GLOBAL ID：200903098171536150

圧電振動子

発明者： 井上 真司 ,  清原 敏史
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-153014
公開番号（公開出願番号）：特開2000-341078
出願日： 1999年05月31日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】【課題】 特性が良好で小型化の見込める、高い電気機械結合係数と高い温度安定性を有する圧電振動子を提供する。【解決手段】 ランガサイト構造を有し、少なくともランタン,ガリウム,M(Mはニオブ、タンタル、シリコンの少なくとも1つ)元素を含有する酸化物単結晶基板上に、弾性波励振電極を設けて成る圧電振動子であって、基板はオイラー角表示(φ,θ,ψ)の各パラメータが、90°≦φ≦120°,170≦θ≦190°,φ-67°≦ψ≦φ-53 ゚または、90°≦φ≦120°,170≦θ≦190°,φ+53°≦ψ≦φ+67 ゚とすることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ランガサイト型結晶構造を有し、少なくともニオブ,タンタル,シリコンから選択される元素を1種以上と、ランタン、及びガリウムを含有して成る基板上に、厚みすべり振動を発生させる電極を形成したことを特徴とする圧電振動子。

IPC (3件)：

H03H 9/17 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18

FI (3件)：

H03H 9/17 G ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/18 101 A

Fターム (4件)：

5J108BB01 ,  5J108BB03 ,  5J108CC04 ,  5J108DD02