特許

J-GLOBAL ID：200903098172537931

電着レジスト乾燥装置

発明者： 崎浜 信宏 ,  百瀬 輝寿
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 小西 淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-147818
公開番号（公開出願番号）：特開平9-310198
出願日： 1996年05月20日
公開日（公表日）： 1997年12月02日
要約：

【要約】【課題】 枚葉ないしフープ状のシートに、単体ないし面付けされた状態で外形加工されたリードフレーム等の半製品に電着させた電着レジスト膜に対して、膜の平滑化を兼ねる乾燥処理を行う際に、問題を伴わずに平滑化をうまく行うことができる乾燥装置を提供する。【解決手段】 枚葉ないしフープ状のシートに、単体ないし面付けされた状態で外形加工されたリードフレーム等の半製品に電着させた電着レジストの乾燥を、該枚葉ないしフープ状のシートを連続的に搬送しながら行う電着レジストの乾燥装置であって、前記半製品に電着レジストを電着した後の水切りを行う水切り部と、電着レジストを乾燥させる乾燥部と、乾燥させた電着レジストを冷却する冷却部とを備えており、水切り部は高圧エアーをシートの表裏に吹きかけて水切りを行うもので、乾燥部は熱風をシートの表裏に吹きかけて乾燥を行うもので、冷却部は冷風をシートの表裏に吹きかけて冷却を行うものである。

請求項（抜粋）：

枚葉ないしフープ状のシートに、単体ないし面付けされた状態で外形加工されたリードフレーム等の半製品に電着させた電着レジストの乾燥を、該枚葉ないしフープ状のシートを搬送しながら行う電着レジストの乾燥装置であって、前記半製品に電着レジストを電着した後の水切りを行う水切り部と、電着レジストを乾燥させる乾燥部と、乾燥させた電着レジストを冷却する冷却部とを備えており、水切り部は高圧エアーをシートの表裏に吹きかけて水切りを行うもので、乾燥部は熱風をシートの表裏に吹きかけて乾燥を行うもので、冷却部は冷風をシートの表裏に吹きかけて冷却を行うものであることを特徴とする電着レジスト乾燥装置。

IPC (4件)：

C25D 7/12 ,  G03F 7/16 ,  H01L 21/027 ,  H01L 23/50

FI (5件)：

C25D 7/12 ,  G03F 7/16 ,  H01L 23/50 A ,  H01L 21/30 564 Z ,  H01L 21/30 570