観察装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木内修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-206292
公開番号（公開出願番号）：特開2003-021787
出願日： 2001年07月06日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：

【要約】【課題】試料の形状に応じて試料の照明状態を調整し、試料の検査・測定を精度良く行なうことができる観察装置を提供する。【解決手段】光源1の光を試料面に照射する照明光学系と、試料面の像を形成する観察光学系とを備えた観察装置において、観察光学系の対物レンズ5の瞳面9の光強度分布を検出する検出系を採用し、検出された瞳面9の光強度分布が観察光学系の光軸L2を中心に放射状にほぼ一様に変化するように開口絞り3を動かす。このようにして照明光学系又は観察光学系のテレセントリシティを確保し、検査・測定に適した照明状態を実現する。

請求項（抜粋）：

試料面を照明する照明光学系と、前記試料面の像を形成する観察光学系とを備えている観察装置において、前記観察光学系の瞳面の光強度分布を検出する検出系と、前記検出系によって検出される前記瞳面の光強度分布が前記観察光学系の光軸を中心に放射状にほぼ一様に変化するように調整する照明調整手段とを備えていることを特徴とする観察装置。

IPC (6件)：

G02B 21/06 , G01B 11/00 , G01N 21/956 , G02B 21/00 , G02B 21/36 , H01L 21/66

FI (6件)：

G02B 21/06 , G01B 11/00 H , G01N 21/956 A , G02B 21/00 , G02B 21/36 , H01L 21/66 J

Fターム (51件)：

2F065AA17 , 2F065AA22 , 2F065AA56 , 2F065BB02 , 2F065BB24 , 2F065CC17 , 2F065FF42 , 2F065GG02 , 2F065GG03 , 2F065HH12 , 2F065HH18 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL01 , 2F065LL30 , 2F065LL46 , 2F065LL59 , 2F065NN20 , 2F065QQ03 , 2F065QQ26 , 2F065QQ31 , 2F065SS02 , 2F065SS13 , 2G051AA51 , 2G051AB02 , 2G051BB03 , 2G051BB07 , 2G051BB17 , 2G051BC04 , 2G051CA03 , 2G051CA07 , 2G051CB01 , 2H052AB17 , 2H052AB24 , 2H052AC02 , 2H052AC04 , 2H052AC09 , 2H052AC26 , 2H052AC28 , 2H052AD35 , 2H052AF14 , 2H052AF21 , 2H052AF25 , 4M106AA01 , 4M106CA39 , 4M106DB04 , 4M106DB12 , 4M106DB13 , 4M106DB19 , 4M106DB21 , 4M106DJ23

引用特許：

審査官引用 (6件)

パターン検査装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-116202 出願人：株式会社日立製作所
観察装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-058575 出願人：株式会社ニコン
外観検査方法および装置ならびに半導体装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-245861 出願人：株式会社日立製作所

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