特許
J-GLOBAL ID：200903098182062052
角速度センサー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 祥泰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-220986
公開番号（公開出願番号）：特開平11-051658
出願日： 1997年08月01日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】 出力に含まれるオフセットやオフセットの温度ドリフトを抑制することができる角速度センサーの提供。【解決手段】 圧電体を介してコリオリの力による振動を検知する角速度センサーであって,振動子10のアーム11,12の前面または側面の信号検知用電極24〜29に接続された信号検知用ワイヤー334〜339は,上記アームのコの字形の連結部15において一旦固定したのちターミナル314〜319に接続されている。上記のワイヤーは,励振用電極20,21の上部を経ることなく電極からアーム後面の接地電極の上部を経てターミナルに接続することが好ましく,ワイヤーはシリコン系の接着剤により振動子に固定することが好ましい。
請求項（抜粋）：
圧電体を介してコリオリの力による振動を検知する角速度センサーであって,左右一対のアームの一端をコの字形に連結し他端を開放端とする圧電体の振動子と,上記振動子のコの字の連結部を支持固定する支持部材と,上記各アームの一端側に形成した励振用の電極と,上記各アームの上記励振用の電極が形成された面に対し直角の面の外側面に形成した振動検知用電極と,上記各アームの上記励振用の電極が形成された面と対向する面に形成した接地用電極と,上記支持部材におけるアームの左右両側部に取り付けたターミナルと,上記ターミナルと各電極とを接続するワイヤーと,上記励振用電極と接地用電極との間に交流電圧を印加する振動子励振用の電源と,上記各検知用電極の検出信号に基づいて振動子の回転角速度を算出すると共に上記励振用電源を制御する制御手段とを有しており,上記各アームに形成された少なくとも検知用電極に接続されたワイヤーは,上記アームの連結部において固定されたのち上記ターミナルに接続されていることを特徴とする角速度センサー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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