X線検査方法およびその装置並びにプレプレグの検査方法および多層配線基板の製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-334598
公開番号（公開出願番号）：特開平7-043320
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】検査対象から鮮明な透過X線像が得られるを可としたX線検査方法およびその装置を提供すること。【構成】X線源101と、被検査試料102を搭載する搭載台202をXおよびY軸方向に移動して位置決めするXY位置決めステージ103と、前記X線源より出射されたX線を被検査試料に照射して該被検査試料を透過した透過X線像を検出して光学像に変換するX線光変換手段106と、検出された光学像を受光して透過濃淡X線画像信号として検出する光電変換手段110と、透過濃淡X線画像信号からノイズ成分を除去するノイズ除去手段704と、ノイズが除去された透過濃淡X線画像信号に対して前記被検査試料の厚さに応じた信号レベルに変換するレベル変換手段705と、検出信号レベルの変動を補正するレベル補正手段706、707とを備える。

請求項（抜粋）：

検査対象でのX線吸収率が大とされた少なくとも波長を含む特性X線を前記検査対象に照射し、該検査対象を透過した透過X線像を検出し、該透過X線像にもとづき前記検査対象を検査することを特徴とするX線検査方法。

IPC (3件)：

G01N 23/04 , H05K 3/00 , H05K 3/46

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平1-301154
特開平1-301154
特開平2-248889

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