特許
J-GLOBAL ID：200903098199126917
スキャナシステム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-272292
公開番号（公開出願番号）：特開平7-128050
出願日： 1993年10月29日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：
【要約】【目的】高速走査と高精度走査を両立させたスキャナシステムを得ることにある。【構成】探針、或いは試料を保持するステージ12を所定の方向に走査させるためのものであって、少なくとも圧電体と複数の駆動電極で構成される圧電体スキャナ11と、この11の変位量を求め、変位信号として出力するスキャナ変位センサ13と、11の所望とする状態を示す基準信号を発生させる基準信号発生器14と、前記変位信号および基準信号に基づき、11を所望とする状態に変位させるための第1の制御信号を生成し出力するコントローラ15と、前記第1の制御信号のノイズを取り除き、第2の制御信号として出力するフィルター回路19と、前記第2の制御信号を一時的に記憶するメモリ回路22と、前記第1および第2の制御信号のどちらか一方を選択し、11の複数の駆動電極に駆動信号として印加するスイッチ17を具備したもの。
請求項（抜粋）：
探針、或いは試料を保持するステージと、このステージを所定の方向に走査させるための圧電体スキャナと、この圧電体スキャナの変位信号を出力するスキャナ変位センサと、前記圧電体スキャナの所望とする状態を示す基準信号を発生させる基準信号発生手段と、前記変位信号および基準信号に基づき、前記圧電体スキャナを所望とする状態に変位させるための第1の制御信号を生成し、出力する制御手段と、前記第1の制御信号のノイズを取り除き、第2の制御信号として出力するフィルター手段と、前記第2の制御信号を記憶するメモリ手段と、前記第1および第2の制御信号の一方を選択し、前記圧電体スキャナに駆動信号として印加する駆動信号選択手段と、を具備し、前記駆動信号選択手段により選択された第1または第2の制御信号に従って前記圧電体スキャナを駆動することを特徴とするスキャナシステム。
IPC (2件)：
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