特許
J-GLOBAL ID：200903098210468000
半導体加速度検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村上 博 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-246991
公開番号（公開出願番号）：特開平5-060784
出願日： 1991年08月30日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：
【要約】【目的】 半導体加速度検出装置の組み立てにおいて、重り取付け精度を向上するとともに検証できるようにする。【構成】 半導体加速度センサチップ1上に重り取付け位置マーク5を形成するとともに、重り位置決め公差マーク6a,6bを形成したものである。【効果】 精度並びに品質の高いものが得られる。
請求項（抜粋）：
半導体加速度センサチップと、この半導体加速度センサチップの一端に接合して固定される感度向上用の重りを備えたものにおいて、上記半導体加速度センサチップ上に、重り取付け用位置決めマークと、重り位置決め公差マークを形成したことを特徴とする半導体加速度検出装置。
IPC (3件)：
G01P 15/12
, G01P 15/02
, H01L 29/84
