投影露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-020190
公開番号（公開出願番号）：特開平7-230945
出願日： 1994年02月17日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：

【要約】【目的】瞳フィルターを交換、又は挿脱しても投影光学系の結像特性を高精度に維持可能とする。【構成】投影光学系PLの瞳面FTPに配置される瞳フィルターPFの交換、又は挿脱に伴って、投影光学系PLを構成する複数のレンズ素子のうちの少なくとも一部を、投影光学系PLに対して移動せしめる可動保持部材(15、18、21)を設ける。

請求項（抜粋）：

微細なパターンが形成されたマスクを露光用の照明光で照射する照明手段と、前記マスクのパターンから発生した光を入射して前記パターンの像を感光基板上に所定の結像特性で投影する投影光学系とを備えた投影露光装置において、前記投影光学系内の瞳面、又はその近傍面に、互いに光学的な作用が異なる複数の光学フィルターのうちのいずれか1つを交換可能に配置する交換手段と;前記複数の光学フィルターの交換に応じて、前記投影光学系を構成する複数の光学要素のうちの少なくとも一部を、前記投影光学系全体に対して移動せしめる光学要素移動部材とを備えたことを特徴とする投影露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03B 27/32 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 515 D , H01L 21/30 527

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平2-278811
特開平4-179958
特開平2-166719

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審査官引用 (2件)

特開平2-278811
特開平4-179958

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