特許
J-GLOBAL ID：200903098215310413
圧電共振子
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-143384
公開番号（公開出願番号）：特開2000-332570
出願日： 1999年05月24日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：
【要約】【課題】高周波のフィルターを構成できるとともに、主要振動以外の不要な振動を抑制し、スプリアスの発生を抑制できる圧電共振子を提供する。【解決手段】振動空間Aを有する基体11と、振動空間Aを被覆するように基体11表面に形成された支持膜12と、第1、第2電極13、15で圧電体14を挟持してなる振動体16とを具備する圧電共振子において、支持膜12に凹部19が形成されており、第1電極13の幅をa、第2電極15の幅をb、圧電体14の幅をcとしたときに、a≧x、b≧x、c>x(ただし、a>xかつb>xを除く)を満足するものである。
請求項（抜粋）：
振動空間を有する基体と、前記振動空間を被覆するように前記基体表面に形成された支持膜と、該支持膜の前記振動空間と反対の面に当接され、圧電体を第1電極と第2電極で挟持した振動体とからなる圧電共振子であって、前記支持膜の前記振動空間と反対の部位に凹部が形成されており、該凹部の幅をx、前記支持膜の少なくとも凹部底面に形成された前記第1電極の幅をa、前記第1電極に対向して形成された前記第2電極の幅をb、前記圧電体の幅をcとした時に、下記条件を満足することを特徴とする圧電共振子。a≧xb≧xc>xただし、a>xかつb>xを除く。
IPC (4件)：
H03H 9/17
, C04B 35/49
, H01L 41/09
, H01L 41/187
H03H 9/17 F
, C04B 35/49 A
, H01L 41/08 C
, H01L 41/18 101 C
4G031AA12
, 4G031AA29
, 4G031AA30
, 4G031AA36
, 4G031AA38
, 4G031BA10
, 5J108BB07
, 5J108BB08
, 5J108CC04
, 5J108EE03
, 5J108EE13
, 5J108FF04
, 5J108GG14
